ଏକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର (FAB) ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀରେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତାର ଲକ୍ଷ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ |

ଏକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର (FAB) ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀରେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତାର ଲକ୍ଷ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ ପ୍ରାୟ 30 ରୁ 50% ଅଟେ, ± 1% ତ୍ରୁଟିର ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ମାର୍ଜିନକୁ ଅନୁମତି ଦେଇଥାଏ, ଯେପରିକି ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଜୋନ୍ରେ - କିମ୍ବା ଦୂର ଅଲଟ୍ରାଭାଇଓଲେଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ (DUV) ଜୋନ୍ - ଯେତେବେଳେ ଅନ୍ୟ ସ୍ଥାନରେ ଏହା ± 5% କୁ ଆରାମ କରାଯାଇପାରିବ |
କାରଣ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତାର ବିଭିନ୍ନ କାରଣ ରହିଛି ଯାହା ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀଗୁଡ଼ିକର ସାମଗ୍ରିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରେ, ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରି:
ଜୀବାଣୁ ବୃଦ୍ଧି;
କର୍ମଚାରୀଙ୍କ ପାଇଁ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରା ଆରାମ ପରିସର;
ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଚାର୍ଜ ଦେଖାଯାଏ;
4। ଧାତୁ କ୍ଷୟ;
5। ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ଘନୀଭୂତ;
ଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ଅବକ୍ଷୟ;
ଜଳ ଶୋଷଣ

ଜୀବାଣୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଜ bi ବିକ ପ୍ରଦୂଷକ (ଛାଞ୍ଚ, ଜୀବାଣୁ, କବକ, ମାଇଟ୍) 60% ରୁ ଅଧିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଥିବା ପରିବେଶରେ ବୃଦ୍ଧି ପାଇପାରେ | କେତେକ ଜୀବାଣୁ ସମ୍ପ୍ରଦାୟ 30% ରୁ ଅଧିକ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତାରେ ବ can ିପାରନ୍ତି | କମ୍ପାନୀ ବିଶ୍ believes ାସ କରେ ଯେ ଆର୍ଦ୍ରତାକୁ 40% ରୁ 60% ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯିବା ଉଚିତ, ଯାହା ବ୍ୟାକ୍ଟେରିଆ ଏବଂ ଶ୍ ir ାସକ୍ରିୟା ସଂକ୍ରମଣର ପ୍ରଭାବକୁ କମ୍ କରିପାରେ।

40% ରୁ 60% ମଧ୍ୟରେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ମଧ୍ୟ ମାନବ ଆରାମ ପାଇଁ ଏକ ମଧ୍ୟମ ପରିସର | ଅତ୍ୟଧିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଲୋକଙ୍କୁ ଭରପୂର ଅନୁଭବ କରିପାରିବ, ଯେତେବେଳେ କି 30% ରୁ କମ୍ ଆର୍ଦ୍ରତା ଲୋକଙ୍କୁ ଶୁଷ୍କ, ଚାପିତ ଚର୍ମ, ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟାରେ ଅସୁବିଧା ଏବଂ ଭାବପ୍ରବଣ ଅସନ୍ତୋଷ ଅନୁଭବ କରିପାରିବ |

ଉଚ୍ଚ ଆର୍ଦ୍ରତା ପ୍ରକୃତରେ କ୍ଲିନରୁମ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଚାର୍ଜର ଜମାକୁ ହ୍ରାସ କରେ - ଏକ ଇଚ୍ଛିତ ଫଳାଫଳ | ଚାର୍ଜ ଜମା ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଡିସଚାର୍ଜର ଏକ ସମ୍ଭାବ୍ୟ କ୍ଷତିକାରକ ଉତ୍ସ ପାଇଁ ନିମ୍ନ ଆର୍ଦ୍ରତା ଆଦର୍ଶ ଅଟେ | ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 50% ଅତିକ୍ରମ କରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଚାର୍ଜ ଶୀଘ୍ର ବିସ୍ତାର ହେବାକୁ ଲାଗେ, କିନ୍ତୁ ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 30% ରୁ କମ୍ ହୁଏ, ସେମାନେ ଏକ ଇନସୁଲେଟର କିମ୍ବା ଭିତ୍ତିହୀନ ପୃଷ୍ଠରେ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ରହିପାରନ୍ତି |

35% ରୁ 40% ମଧ୍ୟରେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଏକ ସନ୍ତୋଷଜନକ ଆପୋଷ ବୁ as ାମଣା ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତ elect ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଚାର୍ଜର ସଂଗ୍ରହକୁ ସୀମିତ କରିବା ପାଇଁ ଅତିରିକ୍ତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି |

କ୍ଷତିକାରକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମେତ ଅନେକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାର ଗତି ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ବୃଦ୍ଧି ସହିତ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବ | ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀରେ ବାୟୁରେ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଥିବା ସମସ୍ତ ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକ ଶୀଘ୍ର ହୋଇଥାଏ |